苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司

气体管道材质-苏州气体管道-珂锐弘扬流体

连接方式:

1)焊接。高纯、高洁净气体管道，原则上采用焊接，但不能直接对焊，应采用套管接头。

a不锈钢管的焊接:采用argon arc welding，同时管内通入同等纯度的Ar，防止焊接部位氧化。

b钢管的焊接:采用40%银焊条，氮气保护焊，管内通入工艺气体同等纯度的氮气。但要注意，一旦氮气中断或氮气纯度下降，会在焊口附近生成铜的氧化物，产生浸润表面的可能性。所以，当铜管焊接完毕后，要用浸渍丙i酮的纱布来回擦拭管内，消除焊接处可能产生的氧化物。

2)螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接的好，不适用于高纯、高洁净气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险，而且内外螺纹旋紧时，金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子，污染气体。如确实必要，应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时，在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊条，提高密封效果，尽可能减少金属粉尘。

3)法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氯i乙烯，为确保密封效果，在垫片上涂敷少量氟橡胶(白色、室温固化)。

(3)管路附件的使用:

1)管路附件的材质的选用原则应与管材的选用原则一致。

2)在采用铜材的管路系统中，可以使用不锈钢材质的管道附件;但在不锈钢材质的管路系统中，不容使用铜制材料的管道附件。

天i然气长输管道工程施工应该使用哪些工程技术人员？

施工队伍应具备的条件

(1) 进行城镇燃气输配工程施工的单位，必须具有与工程规模相适应的。

(2) 承担燃气钢质管道、设备焊接的人员，必须具有锅炉压力容器压力管道特种设备操作人员资格证(焊接)焊工合格证书。

施工作业带的要求

为了避免或减少对原有地物、地貌的破坏及对交通的干扰，施工作业带以少占地为原则。特殊地段，其占地宽度可根据管沟深度、工程地质的实际情况和施工方法适当加宽，但必须得到业主的认可。繁华街区段，由于施工作业面较窄，在施工区域内，有碍施工的建筑物、构筑物、道路、沟渠、管线、电杆、树木等，应在施工前，由业主、施工方和有关部门协商解决，必须时，可减少施工作业带宽度。

(1) 地下隐蔽物清查

施工方在开工前应对施工作业带内所有与管线有关的地下管线及构筑物进行核查。为确保万无一失，必要时开挖探坑核实，并得到主管部门的确认。

(2) 施工作业带清理

施工方应清除作业带内需拆除的障碍物，如庄稼、树木、混凝土路面、临建围墙及花坛等，在保证正常施工和安全的前提下，可适当减少拆除工作量。施工方应向业主提交一份对各种情况提供保护措施的施工组织设计，包括管 线、电(光)缆、架空线路、公路、水渠以及其它地上或地下建构筑物，经业主和各主管部门同意后方可施工。

(3)施工现场安全防护

在车行道、人行道施工时，应在管沟沿线四周设置安全护栏，并应设置明显的警示标志;在繁华路段和城市主要道路施工，宜采用封闭式施工方式;在施工路段沿线，应设置夜间警示灯，对无路灯的路段沿线，应设置照明灯，对不可断路面，应有保证车辆、行人安全通行的措施，施工工地应有昼夜巡视的安全员，施工中使用吊车起吊时，应注意沟槽上方高压线等设施。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。